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解决环保隐患,节能高效
近年来,国家一直大力提倡减少挥发性有机物VOCs的排放,七七七电子公司积极倡导安全环保、达标排放、节能减排、绿色发展的理念。传统平板压接式硅芯片的屏蔽,保护工艺一般采用80#真空封蜡作为屏蔽保护材料,真空封蜡熔点为80℃,保护熔点低,对芯片的制作工艺上存在着温度和操作制约,高温后真空封蜡难以去除彻底,使用中必须用二甲苯、丙酮等有机溶剂进行溶解涂覆和去除,存在着VOCs排放量增大的环保隐患。
2021年为了解决芯片生产屏蔽工艺中涉及有机挥发物产生的问题,作为总经理助理、党支部书记的戴薇带领着公司科创先锋团队进行了“环保型压接式硅芯片腐蚀屏蔽保护技术”的研发,通过科学合理的配方和工艺设计,成功研究出一种“高温防腐屏蔽膜”,替代了传统的平板压接式硅芯片真空封蜡屏蔽保护工艺,能够快速对芯片进行表面屏蔽保护,耐温150℃,耐酸耐碱腐蚀,可直接粘贴屏蔽保护部位,去除时直接撕除,使用便捷且无残留,杜绝了二甲苯、丙酮等有机溶剂的使用,减少了VOCs挥发性有机物的排放,节能高效环保,该项研发获得国家发明专利1项。
台面屏蔽技术创新后,将简化屏蔽工序环节,减少金属离子渗透和污染,降低芯片高温IRRM参数,并且提高了生产效率。同时节能环保,取消了二甲苯、丙酮等有机化学溶剂的使用,从根源杜绝VOCs有机挥发物的产生。
创新工作团队,成果转化
公司成立了戴薇为带头人的科创先锋团队,建成以市场为导向、企业为主体、科研机构和高校为技术依托的产学研合作模式,与黄山学院共同创建“智能微系统安徽省工程技术研究中心”。研究课题10项,申请国家发明专利3项,为公司争取国家高新技术企业等国家级多项荣誉。通过建立“互学、互比、互帮”工作机制,以先进党员为核心,引导17名专业技术骨干聚焦市场需求,在部分细分关键领域内实现“补短板、锻长板”,企业通过了ISO9001质量管理、两化融合管理、ISO24001环境管理、ISO45001职业健康安全管理、ISO5001能源管理、ROHS等体系认证,“劳模创新工作室”团队先后建立自动化程度较高的半导体晶圆扩散生产线一条、压接式和焊接式芯片生产线各一条,获得授权发明专利1项、实用新型专利13项,研发项目立项20余项,并全部实现成果转化,促进企业增收。
编辑:叶淑君